ഹിറ്റാച്ചി KM11 ഓയിൽ പ്രഷർ സെൻസർ EX200-2-3-5 ന് അനുയോജ്യം

പ്രഷർ സെൻസറിൻ്റെ നാല് സമ്മർദ്ദ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ

1. കപ്പാസിറ്റീവ്

കപ്പാസിറ്റീവ് പ്രഷർ സെൻസറുകൾ സാധാരണയായി ധാരാളം ഒഇഎം പ്രൊഫഷണൽ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ ഇഷ്ടപ്പെടുന്നു. രണ്ട് ഉപരിതലങ്ങൾക്കിടയിലുള്ള കപ്പാസിറ്റൻസ് മാറ്റങ്ങൾ കണ്ടെത്തുന്നത് ഈ സെൻസറുകളെ വളരെ താഴ്ന്ന മർദ്ദവും വാക്വം ലെവലും മനസ്സിലാക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ സാധാരണ സെൻസർ കോൺഫിഗറേഷനിൽ, ഒരു കോംപാക്റ്റ് ഹൗസിംഗിൽ രണ്ട് അടുത്ത അകലമുള്ളതും സമാന്തരവും വൈദ്യുതപരമായി ഒറ്റപ്പെട്ടതുമായ രണ്ട് ലോഹ പ്രതലങ്ങൾ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു, അവയിലൊന്ന് സമ്മർദ്ദത്തിൽ ചെറുതായി വളയാൻ കഴിയുന്ന ഒരു ഡയഫ്രം ആണ്. ദൃഢമായി ഉറപ്പിച്ചിരിക്കുന്ന ഈ പ്രതലങ്ങൾ (അല്ലെങ്കിൽ പ്ലേറ്റുകൾ) ഘടിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, അങ്ങനെ അസംബ്ലിയുടെ വളവ് അവയ്ക്കിടയിലുള്ള വിടവ് മാറ്റുന്നു (യഥാർത്ഥത്തിൽ ഒരു വേരിയബിൾ കപ്പാസിറ്റർ രൂപീകരിക്കുന്നു). തത്ഫലമായുണ്ടാകുന്ന മാറ്റം (അല്ലെങ്കിൽ ASIC) ഉള്ള ഒരു സെൻസിറ്റീവ് ലീനിയർ കംപാറേറ്റർ സർക്യൂട്ട് വഴി കണ്ടെത്തുന്നു, അത് ആനുപാതികമായ ഉയർന്ന തലത്തിലുള്ള സിഗ്നൽ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ഔട്ട്പുട്ട് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.

2.CVD തരം

രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം (അല്ലെങ്കിൽ "CVD") നിർമ്മാണ രീതി പോളിസിലിക്കൺ പാളിയെ സ്റ്റെയിൻലെസ്സ് സ്റ്റീൽ ഡയഫ്രം വരെ തന്മാത്രാ തലത്തിൽ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു, അങ്ങനെ മികച്ച ദീർഘകാല ഡ്രിഫ്റ്റ് പ്രകടനത്തോടെ സെൻസർ നിർമ്മിക്കുന്നു. വളരെ ന്യായമായ വിലയിൽ മികച്ച പ്രകടനത്തോടെ പോളിസിലിക്കൺ സ്‌ട്രെയിൻ ഗേജ് ബ്രിഡ്ജുകൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ സാധാരണ ബാച്ച് പ്രോസസ്സിംഗ് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ രീതികൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. CVD ഘടനയ്ക്ക് മികച്ച ചിലവ് പ്രകടനമുണ്ട്, OEM ആപ്ലിക്കേഷനുകളിലെ ഏറ്റവും ജനപ്രിയ സെൻസറാണിത്.

3. സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിം തരം

സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ (അല്ലെങ്കിൽ "ഫിലിം") പരമാവധി സംയോജിത രേഖീയത, ഹിസ്റ്റെറിസിസ്, ആവർത്തനക്ഷമത എന്നിവയുള്ള ഒരു സെൻസർ സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും. കൃത്യത പൂർണ്ണ സ്കെയിലിൻ്റെ 0.08% വരെ ഉയർന്നേക്കാം, അതേസമയം ദീർഘകാല ഡ്രിഫ്റ്റ് എല്ലാ വർഷവും പൂർണ്ണ സ്കെയിലിൻ്റെ 0.06% വരെ കുറവാണ്. പ്രധാന ഉപകരണങ്ങളുടെ അസാധാരണമായ പ്രകടനം-ഞങ്ങളുടെ സ്പട്ടർ ചെയ്ത നേർത്ത ഫിലിം സെൻസർ പ്രഷർ സെൻസിംഗ് വ്യവസായത്തിലെ ഒരു നിധിയാണ്.

4.എംഎംഎസ് തരം

ഈ സെൻസറുകൾ മർദ്ദത്തിലെ മാറ്റങ്ങൾ കണ്ടുപിടിക്കാൻ മൈക്രോ മെഷീൻഡ് സിലിക്കൺ (എംഎംഎസ്) ഡയഫ്രം ഉപയോഗിക്കുന്നു. സിലിക്കൺ ഡയഫ്രം, എണ്ണ നിറച്ച 316SS വഴി മാധ്യമത്തിൽ നിന്ന് വേർതിരിച്ചെടുക്കുന്നു, കൂടാതെ അവ പ്രോസസ്സ് ദ്രാവക സമ്മർദ്ദവുമായി പരമ്പരയിൽ പ്രതികരിക്കുന്നു. ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പ്രതിരോധം, നല്ല രേഖീയത, മികച്ച തെർമൽ ഷോക്ക് പ്രകടനം, കോംപാക്റ്റ് സെൻസർ പാക്കേജിൽ സ്ഥിരത എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ കഴിയുന്ന സാധാരണ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ സാങ്കേതികവിദ്യ MMS സെൻസർ സ്വീകരിക്കുന്നു.