സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അർദ്ധചാലക പ്രഷർ സെൻസർ കെ.ഇ.യായി എൻ-ടൈപ്പ് സിലിക്കൺ വേഫർ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഒന്നാമതായി, സിലിക്കൺ വേഫർ ഒരു ഇലാസ്റ്റിക് സ്ട്രെസ് ബെയറിംഗ് ഭാഗമാക്കി മാറ്റുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ സ്ട്രെസ്-ബെയറിംഗ് ഭാഗത്ത്, നാല് പി-ടൈപ്പ് ഡിഫറൻസ് റെസിസ്റ്ററുകൾ വ്യത്യസ്ത ക്രിസ്റ്റൽ ദിശകളിലാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, തുടർന്ന് ഈ നാല് റെസിസ്റ്ററുകളുമായി ഒരു നാല് കവചം വെയ്റ്റ്സ് ബ്രിഡ്ജ് രൂപം കൊള്ളുന്നു. ബാഹ്യശക്തിയുടെ പ്രവർത്തനത്തിൽ, പ്രതിരോധ മൂല്യങ്ങളുടെ മാറ്റങ്ങൾ ഇലക്ട്രിക്കൽ സിഗ്നലുകളായി മാറുന്നു. സമ്മർദ്ദകരമായ ഫലങ്ങളുള്ള ഈ വൈസെസ്റ്റൺ പാലം സാധാരണയായി പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് പാലം എന്ന് വിളിക്കുന്നു (ചിത്രം 1 ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ). പൈസോറസിസ്റ്റീവ് പാലത്തിന്റെ സവിശേഷതകൾ ഇപ്രകാരമാണ്: b പാലത്തിലെ നാല് കൈകളുടെ പ്രതിരോധ മൂല്യങ്ങൾ തുല്യമാണ് (എല്ലാം R0); B പാലത്തിന്റെ തൊട്ടടുത്തുള്ള കൈകളുടെ പൈസോറസിസ്റ്റീവ് ഇഫക്റ്റ് മൂല്യത്തിൽ തുല്യവും വിപരീതവുമാണ്; Fris പാലത്തിന്റെ നാല് കൈകളുടെ ചെറുത്തുനിൽപ്പ് താപനില ഗുണകകം ഒരുപോലെയാണ്, അവ എല്ലായ്പ്പോഴും ഒരേ താപനിലയിലാണ്. ചിത്രം. 1, r0 room ഷ്മാവിൽ സമ്മർദ്ദം കൂടാതെ റെസിസ്റ്റൻസ് മൂല്യമാണ്; താപനില മാറുമ്പോൾ പ്രതിരോധം (α) താപനില മൂലമുണ്ടായ മാറ്റമാണ് RT; Υ Rδ സമ്മർദ്ദം മൂലമുണ്ടാകുന്ന മാറ്റം (ε); പാലത്തിന്റെ output ട്ട്പുട്ട് വോൾട്ടേജ് u = i0 δ rδ = i0rgδ (നിരന്തരമായ നിലവിലെ സോഴ്സ് ബ്രിഡ്ജ്) ആണ്.

എവിടെയാണ് ഞാൻ സ്ഥിരമായ നിലവിലെ ഉറവിട കറന്റ്, ഇ സ്ഥിരമായ വോൾട്ടേജ് സോഴ്സ് വോൾട്ടേജ് ആണ്. പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് ബ്രിഡ്ജിന്റെ output ട്ട്പുട്ട് വോൾട്ടേജ് സ്ട്രെയിന് (ε) നേരിട്ട് ആനുപാതികമായി ആനുപാതികമായി ആനുപാതികമായി മാത്രമല്ല, പ്രതിരോധം താപനില ഗുണകോപകടത്തിൽ ഒരു ബന്ധവുമില്ല, അത് സെൻസറിന്റെ താപനിലയെ വളരെയധികം കുറയ്ക്കുന്നു. ദ്രാവക സമ്മർദ്ദം കണ്ടെത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു സെൻസറാണ് ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അർദ്ധചാലക പ്രഷർ സെൻസർ. മോണോക്രിസ്റ്റല്ലൈൻ സിലിക്കൺ ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഒരു കാപ്സ്യൂളാണ് ഇതിന്റെ പ്രധാന ഘടന (ചിത്രം 2 ൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ). ഡയഫ്രം ഒരു കപ്പിലാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, പാനപാത്രത്തിന്റെ അടിഭാഗം ബാഹ്യശക്തി വഹിക്കുന്ന ഭാഗം, പാനപാത്രത്തിന്റെ അടിയിൽ പ്രഷർ പാലം ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഒരേ സിലിക്കൺ സിംഗിൾ മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ചാണ് റിംഗ് പീഠത്തിൽ, തുടർന്ന് ഡയഫ്രം പീഠവുമായി ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. ഇത്തരത്തിലുള്ള മർദ്ദ സെൻസറിന് ഉയർന്ന സംവേദനക്ഷമത, ചെറിയ അളവിലുള്ള സോളിത, എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുണ്ട്, സ്പേസ് നാവിഗേഷൻ, ഓട്ടോമേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾ, മെഡിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.