പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസറിന്റെ ഘടന

ഈ സെൻസറിൽ, ഒരു സിലിക്കൺ പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് ചിപ്പ് നിർമ്മിക്കുന്നതിനായി ഇന്റഗ്രേഷൻ പ്രക്രിയയിലൂടെ സമന്വയിപ്പിച്ച സിലിക്കൺ ഡയഫ്രത്തിൽ റെസിസ്റ്റർ സ്ട്രിപ്പ് സംയോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ഈ ചിപ്പിന്റെ ചുറ്റളവ് ഷെല്ലിൽ പാക്കേജുചെയ്തു, ഇലക്ട്രോഡ് ലീഡുകൾ നയിക്കുന്നു. സോളിഡ്-സ്റ്റേറ്റ് റിസഫല സെൻസർ എന്നും അറിയപ്പെടുന്ന പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് റിസർഫ് സെൻസർ പശ സ്ട്രെയ്ൻ ഗേജിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമാണ്, അത് ഇലാസ്റ്റിക് സെൻസിറ്റീവ് ഘടകങ്ങളിലൂടെ പരോക്ഷമായി അനുഭവപ്പെടേണ്ടതുണ്ട്, പക്ഷേ സിലിക്കൺ ഡയഫ്രം വഴി അളന്ന സമ്മർദ്ദം നേരിട്ട് അനുഭവപ്പെടുന്നു.

അളന്ന സമ്മർദ്ദവുമായി ആശയവിനിമയം നടത്തുന്ന ഉയർന്ന സമ്മർദ്ദമുള്ള അറയാണ് സിലിക്കൺ ഡയഫ്രത്തിന്റെ ഒരു വശം, മറുവശത്ത് അന്തരീക്ഷവുമായി ആശയവിനിമയം നടത്തുന്ന കുറഞ്ഞ സമ്മർദ്ദമുള്ള അറയാണ്. സാധാരണയായി, നിശ്ചിത ചുറ്റളവുള്ള ഒരു വൃത്തമായി സിലിക്കൺ ഡയഫ്രം രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത് 20 ~ 60 ആണ്.

കൂടാതെ, സ്ക്വയർ സിലിക്കൺ ഡയഫ്രവും സിലിക്കൺ നിര സെൻസും ഉണ്ട്. സിലിക്കൺ സിലിണ്ടറിന്റെ ഒരു ക്രിസ്റ്റൽ വിമാനത്തിന്റെ ഒരു നിശ്ചിത ദിശയിൽ വ്യാപനവും രണ്ട് ടെൻസൽ സ്ട്രെസ് റെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകളും രണ്ട് കംപ്രസ്സീവ് സ്ട്രെസ് റെസിറ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകളും ഒരു പൂർണ്ണ പാലമുണ്ടാക്കുന്നു.

അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ പൈസോറിസിസ്റ്റീവ് ഇഫക്റ്റ് അനുസരിച്ച് അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ സബ്സ്ട്രേറ്റിലെ ഡിഫറൻസ് പ്രതിരോധം നടത്തുന്ന ഉപകരണമാണ് പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസർ. അതിന്റെ കെ.ഇ.യെ നേരിട്ട് അളക്കുന്ന സെൻസറായി നേരിട്ട് ഉപയോഗിക്കാം, ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രതിരോധം ഒരു പാലത്തിന്റെ രൂപത്തിൽ കെ.ഇ.യായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.

ബാഹ്യശക്തിയാൽ കെ.ഇ. പ്യൂസോറേസിസ്റ്റീവ് സെൻസറുകളായി ഉപയോഗിക്കുന്ന സബ്സ്ട്രേറ്റ്സ് (അല്ലെങ്കിൽ ഡയഫ്രം) പ്രധാനമായും സിലിക്കൺ വേഫറുകളും ജെൻറെ ജർമ്മനിം വേഫറുകളും ആണ്. സെൻസിറ്റീവ് മെറ്റീരിയലുകളായി സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച സിലിക്കൺ പ്യൂസൈനിക് സെൻസറുകൾ കൂടുതൽ ശ്രദ്ധ ആകർഷിച്ചു, പ്രത്യേകിച്ച് സമ്മർദ്ദവും വേഗതയും അളക്കുന്നതിനായി സോളിഡ്-സ്റ്റേറ്റ് പ്യോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസറുകൾ ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.