പീസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസറിൻ്റെ ഘടന

ഈ സെൻസറിൽ, റെസിസ്റ്റർ സ്ട്രിപ്പ് മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ ഡയഫ്രത്തിൽ സംയോജിപ്പിച്ച് ഒരു സിലിക്കൺ പീസോറെസിസ്റ്റീവ് ചിപ്പ് ഉണ്ടാക്കുന്നു, കൂടാതെ ഈ ചിപ്പിൻ്റെ ചുറ്റളവ് ഷെല്ലിൽ ഉറപ്പിക്കുകയും ഇലക്ട്രോഡ് ലീഡുകൾ പുറത്തേക്ക് നയിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. സോളിഡ്-സ്റ്റേറ്റ് പ്രഷർ സെൻസർ എന്നും അറിയപ്പെടുന്ന പീസോറെസിസ്റ്റീവ് പ്രഷർ സെൻസർ, പശ സ്‌ട്രെയിൻ ഗേജിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമാണ്, ഇതിന് ഇലാസ്റ്റിക് സെൻസിറ്റീവ് മൂലകങ്ങളിലൂടെ പരോക്ഷമായി ബാഹ്യബലം അനുഭവപ്പെടേണ്ടതുണ്ട്, എന്നാൽ സിലിക്കൺ ഡയഫ്രം വഴി അളന്ന മർദ്ദം നേരിട്ട് അനുഭവപ്പെടുന്നു.

സിലിക്കൺ ഡയഫ്രത്തിൻ്റെ ഒരു വശം അളന്ന മർദ്ദവുമായി ആശയവിനിമയം നടത്തുന്ന ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള അറയാണ്, മറുവശം അന്തരീക്ഷവുമായി ആശയവിനിമയം നടത്തുന്ന താഴ്ന്ന മർദ്ദമുള്ള അറയാണ്. സാധാരണയായി, സിലിക്കൺ ഡയഫ്രം രൂപകല്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത് നിശ്ചിത ചുറ്റളവുള്ള ഒരു സർക്കിളായിട്ടാണ്, വ്യാസവും കനവും തമ്മിലുള്ള അനുപാതം ഏകദേശം 20 ~ 60 ആണ്. നാല് പി അശുദ്ധി പ്രതിരോധ സ്ട്രിപ്പുകൾ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള സിലിക്കൺ ഡയഫ്രത്തിൽ പ്രാദേശികമായി വ്യാപിക്കുകയും ഒരു പൂർണ്ണ പാലത്തിലേക്ക് ബന്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, അവയിൽ രണ്ടെണ്ണം കംപ്രസ്സീവ് സ്ട്രെസ് സോണിലും മറ്റ് രണ്ടെണ്ണം ടെൻസൈൽ സ്ട്രെസ് സോണിലും ആണ്, അവ ഡയഫ്രത്തിൻ്റെ കേന്ദ്രവുമായി ബന്ധപ്പെട്ട് സമമിതിയാണ്.

കൂടാതെ, ചതുരാകൃതിയിലുള്ള സിലിക്കൺ ഡയഫ്രം, സിലിക്കൺ കോളം സെൻസർ എന്നിവയും ഉണ്ട്. സിലിക്കൺ സിലിണ്ടറിൻ്റെ ഒരു ക്രിസ്റ്റൽ പ്ലെയിനിൻ്റെ ഒരു നിശ്ചിത ദിശയിൽ വ്യാപിച്ചുകൊണ്ട് സിലിക്കൺ സിലിണ്ടർ സെൻസറും റെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, കൂടാതെ രണ്ട് ടെൻസൈൽ സ്ട്രെസ് റെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകളും രണ്ട് കംപ്രസ്സീവ് സ്ട്രെസ് റെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകളും ഒരു പൂർണ്ണ പാലമായി മാറുന്നു.

അർദ്ധചാലക മെറ്റീരിയലിൻ്റെ പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് ഇഫക്റ്റ് അനുസരിച്ച് അർദ്ധചാലക വസ്തുക്കളുടെ അടിവസ്ത്രത്തിൽ വ്യാപിക്കുന്ന പ്രതിരോധം ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ച ഉപകരണമാണ് പീസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസർ. അതിൻ്റെ അടിവസ്ത്രം നേരിട്ട് അളക്കുന്ന സെൻസറായി ഉപയോഗിക്കാം, കൂടാതെ ഡിഫ്യൂഷൻ പ്രതിരോധം ഒരു പാലത്തിൻ്റെ രൂപത്തിൽ അടിവസ്ത്രത്തിൽ ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.

ബാഹ്യശക്തിയാൽ അടിവസ്ത്രം രൂപഭേദം വരുത്തുമ്പോൾ, പ്രതിരോധ മൂല്യങ്ങൾ മാറുകയും പാലം അനുബന്ധ അസന്തുലിതമായ ഔട്ട്പുട്ട് ഉണ്ടാക്കുകയും ചെയ്യും. പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസറായി ഉപയോഗിക്കുന്ന അടിവസ്ത്രങ്ങൾ (അല്ലെങ്കിൽ ഡയഫ്രം) പ്രധാനമായും സിലിക്കൺ വേഫറുകളും ജെർമേനിയം വേഫറുകളുമാണ്. സെൻസിറ്റീവ് മെറ്റീരിയലുകളായി സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച സിലിക്കൺ പീസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസറുകൾ കൂടുതൽ കൂടുതൽ ശ്രദ്ധ ആകർഷിച്ചു, പ്രത്യേകിച്ച് മർദ്ദവും വേഗതയും അളക്കുന്നതിനുള്ള സോളിഡ്-സ്റ്റേറ്റ് പീസോറെസിസ്റ്റീവ് സെൻസറുകൾ ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു.