അർദ്ധചാലക പ്രഷർ റിസർഫ് സെൻസറുകൾ രണ്ട് വിഭാഗങ്ങളായി തിരിക്കാം, ഞാൻ സമ്മർദ്ദത്തിൽ അർദ്ധചാലകത്തിന്റെ സവിശേഷതകൾ (അല്ലെങ്കിൽ ഷോട്ടി ജംഗ്ഷൻ) മാറ്റം സമ്മർദ്ദത്തിലാക്കുന്ന തത്വത്തിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിലാണ്. ഈ മർദ്ദം സെൻസിറ്റീവ് ഘടകത്തിന്റെ പ്രകടനം വളരെ അസ്ഥിരമാണ്, അത് വളരെയധികം വികസിപ്പിച്ചിട്ടില്ല. അർദ്ധചാലക പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് ഇഫക്റ്റിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള സെൻസർ ആണ്, ഇത് പഴയ ഇനം അർദ്ധചാലക പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ പ്രധാന ഇനങ്ങളാണ്. ആദ്യകാലങ്ങളിൽ, അർദ്ധചാലക സമ്മർദ്ദം കൂടുതലും വിവിധ സമ്മർദ്ദവും അളവെടുക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങളും ബുദ്ധിമുട്ടുന്നു. 1960 കളിൽ, അർദ്ധചാലക സംയോജിത സർക്യൂട്ട് ടെക്നോളജിയുടെ വികസനം, പൈറോറിസിസ്റ്റീവ് എലമെന്റ് പ്രത്യക്ഷപ്പെട്ടതിനാൽ ഡിഫ്ഷൻസ് റെസിസ്റ്ററിനൊപ്പം അർദ്ധചാലക പ്രഷർ സെൻസർ. ഇത്തരത്തിലുള്ള പ്രഷർ സെൻസറിന് ലളിതവും വിശ്വസനീയവുമായ ഘടനയുണ്ട്, ആപേക്ഷിക ചലിക്കുന്ന ഭാഗങ്ങളൊന്നുമില്ല, സെൻസറിന്റെ സമ്മർദ്ദ സെൻസിറ്റീവ് ഘടകവും സംയോജിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, ഇത് സെൻസറിന്റെ പ്രകടനം പുറത്തെടുക്കുന്നു.

അർദ്ധചാലകത്തിന്റെ പൈസോറിസ്റ്റീവ് ഇഫക്റ്റ് ബാഹ്യശക്തിയുമായി ബന്ധപ്പെട്ട ഒരു സ്വഭാവമുണ്ട്, അതായത്, അത് വഹിക്കുന്ന സമ്മർദ്ദത്തിൽ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു, അതിനെ പൈറോറെസിസ്റ്റീവ് ഇഫക്റ്റ് എന്ന് വിളിക്കുന്നു. യൂണിറ്റ് സമ്മർദ്ദത്തിന്റെ പ്രവർത്തനത്തിന് കീഴിലുള്ള പ്രതിരോധത്തെ ആപേക്ഷിക മാറ്റം എന്ന് വിളിക്കുന്നു, അത് ചിഹ്നം പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു. ഗണിതശാസ്ത്രപരമായി ρ / ρ = π ആയി പ്രകടിപ്പിച്ചു.

ഞാൻ എവിടെയാണ് സമ്മർദ്ദത്തെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നത്. സമ്മർദ്ദത്തിൽ അർദ്ധചാലക പ്രതിരോധം മൂലമുള്ള പ്രതിരോധ മൂല്യത്തിന്റെ മാറ്റം

ബാഹ്യശക്തിയുടെ പ്രവർത്തനത്തിന് കീഴിൽ, ചില സമ്മർദ്ദം (σ), സ്ട്രെസ് (ε)

പൈസോറിസ്റ്റീവ് പ്രഭാവം അർദ്ധചാലകത്തിലെ ബുദ്ധിമുട്ട് പ്രകടിപ്പിച്ചാൽ, അത് r / r = gε ആണ്.

യൂണിറ്റ് സ്ട്രെയിനിന് കീഴിലുള്ള പ്രതിരോധം മൂല്യത്തിന്റെ ആപേക്ഷിക മാറ്റത്തെ പ്രതിനിധീകരിക്കുന്ന പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ സംവേദനക്ഷമതയെ സംവേദനക്ഷമത എന്ന് വിളിക്കുന്നു.

പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് കോഫിഫിഷ്യന്റ് അല്ലെങ്കിൽ സെൻസിറ്റിവിറ്റി ഫാക്ടറാണ് അർദ്ധചാലകത്തിന്റെ അടിസ്ഥാന ഫിസിക്കൽ പാരാമീറ്റർ. അവർ തമ്മിലുള്ള ബന്ധം, സമ്മർദ്ദവും ബുദ്ധിമുട്ടും തമ്മിലുള്ള ബന്ധം പോലെ, മെറ്റീരിയലിന്റെ യുവാവിന്റെ മോഡുലുകളാണ് നിർണ്ണയിക്കുന്നത്, അതായത് g = π y.

ക്രിസ്റ്റൽ ഓറിയന്റേഷനോടുകൂടിയ ഇലാസ്തിക, യയുവയുടെ മോഡുലസ്, പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് കോഫിഫിഷ്യന്റ് മാറ്റ എന്നിവയുടെ അനിസോട്രോപ്പി കാരണം. അർദ്ധചാലകത്തിന്റെ ഛർദ്ദം അർദ്ധചാലകത്തിന്റെ പ്രതിരോധവുമായി ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. റെസിവിറ്റി താഴ്ന്നയാൾ, ചെറിയ സംവേദനക്ഷമത ഘടകം. ഡിഫറൻസ് പ്രതിരോധത്തിന്റെ പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് പ്രഭാവം നിർണ്ണയിക്കുന്നത് സ്ഫടിഷണൽ ഓറിയന്റേഷനും ഡിഫറൻസ് പ്രതിരോധത്തിന്റെ ഏകാഗ്രതയും നിർണ്ണയിക്കപ്പെടുന്നു. അശുദ്ധിയുടെ ഏകാഗ്രത പ്രധാനമായും വ്യാപിച്ച പാളിയുടെ ഉപരിതല അശുദ്ധാക്ഷനിയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു.