പാസാറ്റ് ഇന്ധന കോമൺ റെയിൽ പ്രഷർ സെൻസർ 06E906051K-ന് ബാധകമാണ്

1. ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു രീതി, ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു:

ഒരു അർദ്ധചാലക സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് നൽകുന്നു, അതിൽ ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർലേയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറും ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർലേയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറും രണ്ടാമത്തെ ഇൻ്റർലേയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറും അർദ്ധചാലക സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ രൂപം കൊള്ളുന്നു.

ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർലെയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറിലെ ഒരു ലോവർ ഇലക്‌ട്രോഡ് പ്ലേറ്റ്, താഴത്തെ ഇലക്‌ട്രോഡ് പ്ലേറ്റിൻ്റെ അതേ ലെയറിൽ സ്ഥിതി ചെയ്യുന്നതും അകലത്തിലുള്ളതുമായ ആദ്യത്തെ മ്യൂച്വൽ ഇലക്‌ട്രോഡ്.

ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന പാളികൾ;

താഴത്തെ ധ്രുവഫലകത്തിന് മുകളിൽ ഒരു യാഗ പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നു;

ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർലെയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറിൽ ഒരു അപ്പർ ഇലക്‌ട്രോഡ് പ്ലേറ്റ് രൂപപ്പെടുത്തുന്നു, ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർകണക്ഷൻ ലെയറും ബലി പാളിയും;

ബലി പാളി രൂപീകരിച്ചതിനു ശേഷവും മുകളിലെ പ്ലേറ്റ് രൂപീകരിക്കുന്നതിന് മുമ്പും, ആദ്യത്തെ പരസ്പര ബന്ധിത പാളിയിൽ

ഒരു കണക്ഷൻ ഗ്രോവ് രൂപീകരിക്കുക, ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർകണക്ഷൻ ലെയറുമായി വൈദ്യുതമായി ബന്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് മുകളിലെ പ്ലേറ്റ് ഉപയോഗിച്ച് കണക്ഷൻ ഗ്രോവ് പൂരിപ്പിക്കുക; അല്ലെങ്കിൽ,

മുകളിലെ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റ് രൂപീകരിച്ച ശേഷം, മുകളിലെ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റിലും ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർകണക്ഷൻ ലെയറിലും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന ഗ്രോവുകൾ രൂപം കൊള്ളുന്നു.

മുകളിലെ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റിനെയും കണക്ഷൻ ഗ്രോവിലെ ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർകണക്ഷൻ ലെയറിനെയും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന ഒരു ചാലക പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നു;

മുകളിലെ പ്ലേറ്റും ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർകണക്ഷൻ ലെയറും വൈദ്യുതമായി ബന്ധിപ്പിച്ച ശേഷം, ബലി പാളി നീക്കം ചെയ്ത് ഒരു അറ ഉണ്ടാക്കുന്നു.

2. ക്ലെയിം 1 അനുസരിച്ച് ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ആദ്യ പാളി

ഇൻ്റർലെയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറിൽ ബലി പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള രീതി ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു:

ആദ്യത്തെ ഇൻ്റർലേയർ ഡൈഇലക്‌ട്രിക് ലെയറിൽ ഒരു യാഗവസ്തു പാളി നിക്ഷേപിക്കുന്നു;

ത്യാഗസാമഗ്രി പാളി രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് പാറ്റേണിംഗ്.

3. ക്ലെയിം 2 അനുസരിച്ച് പ്രഷർ സെൻസർ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയും കൊത്തുപണിയും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെയാണ് ബലിവസ്തു പാളി പാറ്റേൺ ചെയ്തിരിക്കുന്നത്.

4. ക്ലെയിം 3 പ്രകാരം ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ബലി പാളി

അമോർഫസ് കാർബൺ അല്ലെങ്കിൽ ജെർമേനിയം ആണ് മെറ്റീരിയൽ.

5. ക്ലെയിം 4 അനുസരിച്ച് ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ബലി പാളി

മെറ്റീരിയൽ രൂപരഹിതമായ കാർബൺ ആണ്;

ത്യാഗ സാമഗ്രികളുടെ പാളി എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന എച്ചിംഗ് വാതകങ്ങളിൽ O2, CO, N2, Ar എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു;

ത്യാഗ സാമഗ്രികളുടെ പാളി കൊത്തിയെടുക്കുന്ന പ്രക്രിയയിലെ പാരാമീറ്ററുകൾ ഇവയാണ്: O2 ൻ്റെ ഫ്ലോ റേഞ്ച് 18 SCCM ~ 22 SCCM ആണ്, CO യുടെ ഫ്ലോ റേറ്റ് 10% ആണ്.

ഫ്ലോ റേറ്റ് 90 SCCM മുതൽ 110 SCCM വരെയും, N2 ൻ്റെ ഫ്ലോ റേറ്റ് 90 SCCM മുതൽ 110 SCCM വരെയും, Ar ൻ്റെ ഒഴുക്ക് നിരക്ക്.

ശ്രേണി 90 SCCM ~ 110 SCCM ആണ്, മർദ്ദം 90 mtor ~ 110 mtor ആണ്, ബയസ് പവർ

540w-660w.