പാസാറ്റ് ഇന്ധനമുള്ള സാധാരണ റെയിൽ മർദ്ദം സെൻസറിന് ബാധകമാണ് 06e906051k

1. ഉൾക്കൊള്ളുന്ന ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു രീതി:

അർദ്ധചാലക കെ.ഇ.

ലോവർ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റിലും അകലത്തിലുള്ളതുമായ ആദ്യത്തെ മ്യൂച്വൽ ഡിലൈൻക്രിക് ലെയറിൽ ഒരു താഴ്ന്ന ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റ്, ആദ്യ മ്യൂച്വൽ ഇലക്ട്രോഡ്, സ്പെയ്സിംഗ്.

ലെയറുകളെ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു;

താഴത്തെ ധ്രുവീയ പ്ലേറ്റിന് മുകളിൽ ഒരു ത്യാഗ പാളി രൂപപ്പെടുന്നു;

ആദ്യ ഇന്റർലേയർ ഡീലക്ട്രിക് ലെയറിൽ ഒരു അപ്പർ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റ് രൂപീകരിക്കുന്നു, ആദ്യത്തെ പരസ്പരബന്ധിതമായ പാളിയും ത്യാഗപരമായ പാളിയും;

ത്യാഗപരമായ പാളിയും മുകളിലെ പ്ലേറ്റ് രൂപീകരിക്കുന്നതിന് മുമ്പും ആദ്യ പരസ്പരബന്ധിതമായ പാളിയിൽ രൂപപ്പെടുത്തി

ഒരു കണക്ഷൻ തോവ് രൂപീകരിക്കുക, മികച്ച പ്ലേറ്റ് ഉപയോഗിച്ച് കണക്ഷൻ ഗ്രോവ് പൂരിപ്പിക്കുക; അല്ലെങ്കിൽ,

മുകളിലെ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റൂട്ട് രൂപീകരിച്ച ശേഷം, അപ്പർ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റിലും ആദ്യത്തെ പരസ്പരബന്ധിതമായ പാളിയിലും കണക്റ്റുചെയ്യുന്നു

അപ്പർ ഇലക്ട്രോഡ് പ്ലേറ്റിനെയും കണക്ഷൻ ഗ്രോവിനെയും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന ഒരു ചാലക പാളി, ആദ്യ പരസ്പരബന്ധിതമായ പാളി എന്നിവ രൂപീകരിക്കുന്നു;

മുകളിലെ പ്ലേറ്റ്, ആദ്യ പരസ്പരബന്ധിതമായ പാളി എന്നിവ വൈദ്യുതമായി ബന്ധിപ്പിച്ച്, ത്യാഗ പാളി ഒരു അറയെ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് ത്യാഗ പാളി നീക്കം ചെയ്യുക.

2. ക്ലെയിം 1 അനുസരിച്ച് ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ആദ്യത്തെ പാളിയിൽ

ഇന്റർലെയർ ഡീലക്രിക് ലെയറിൽ ത്യാഗപരമായ പാളി രൂപപ്പെടുത്താനുള്ള രീതി ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു:

ആദ്യത്തെ ഇന്റർലേയർ ഡീലക്ട്രിക് ലെയറിൽ ഒരു ത്യാഗപരമായ മെറ്റീരിയൽ ലെയർ നിക്ഷേപിക്കുക;

ത്യാഗപരമായ പാളി ഉണ്ടാക്കാൻ ത്യാഗപരമായ പാളി പാറ്റേൺ ചെയ്യുന്നു.

3. ക്ലെയിം 2 അനുസരിച്ച് പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയും കൊത്തുപണികളും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ബലി മെറ്റീരിയൽ ലെയർ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയിലൂടെ പാറ്റേൺ ചെയ്യുന്നു.

4. ക്ലെയിം 3 അനുസരിച്ച് ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, ത്യാഗ പാളി

മെറ്റീരിയൽ അമോഫെസ് കാർബൺ അല്ലെങ്കിൽ ജർമ്മനിയം ആണ്.

5. ക്ലെയിം 4 അനുസരിച്ച് ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ രൂപീകരിക്കുന്നതിനുള്ള രീതി, അതിൽ ത്യാഗ പാളി

മെറ്റീരിയൽ അമോഫെസ് കാർബൺ;

ത്യാഗ മെറ്റീരിയൽ ലെയറെ എടുക്കുന്ന പ്രക്രിയയിൽ O2, CO, N2, AR എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു;

ത്യാഗപരമായ പാളി എടുക്കുന്ന പ്രക്രിയയിലെ പാരാമീറ്ററുകൾ ഇവയാണ്: O2 ന്റെ ഫ്ലോ പരിധി 18 എസ്സിസിഎം ~ 22 എസ്സിസിഎം, കോവരുടെ ഫ്ലോ റേറ്റ് 10% ആണ്.

ഫ്ലോ റേറ്റ് 90 സിസിഎം മുതൽ 110 എസ്സിസിഎം വരെ, എൻ 2 എസ്സിസിഎം മുതൽ 110 എസ്സിസിഎം വരെയും 110 എസ്സിസിഎമ്മിലേക്കും 90 എസ്സിസിഎം

90 എസ്സിസിഎം ~ 110 എസ്സിസിഎം ആണ്, സമ്മർദ്ദ ശ്രേണി 90 mtor ~ 110 mtor ആണ്, പക്ഷപാതപരമായത്

540W ~ 660W.