എഞ്ചിൻ പ്രഷർ സെൻസർ 2CP3-68 1946725 കാർട്ടർ ഭാരിന്

എഞ്ചിൻ പ്രഷർ സെൻസർ 2CP3-68 1946725 കാർട്ടർ എക്സ്പെക്ടറേറ്ററിന് ചിത്രീകരിച്ച ചിത്രത്തിന്

ഹ്രസ്വ വിവരണം:

ഒഇ:1946725

അളക്കുന്ന ശ്രേണി:0-600 ബർ

അളക്കൽ കൃത്യത:1% fs

പ്രയോഗത്തിന്റെ പ്രദേശം:കാർട്ടൂറിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു

ഞങ്ങൾക്ക് ഇമെയിൽ അയയ്ക്കുക

ഉൽപ്പന്ന വിശദാംശങ്ങൾ

ഉൽപ്പന്ന ടാഗുകൾ

ഉൽപ്പന്ന ആമുഖം

ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്ന ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ തയ്യാറാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു രീതി:

എസ് 1, ഒരു പിൻ ഉപരിതലത്തിലും മുൻ ഉപരിതലത്തിലും ഒരു വേഫയിപ്പ് നൽകുന്നു; ഒരു പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പ്, കനത്ത ഡോപ്പ്ഡ് കോൺടാക്റ്റ് ഏരിയ എന്നിവയുടെ മുൻവശത്തെ ഉപരിതലത്തിൽ വേഫറിന്റെ പിൻ ഉപരിതലത്തെ കൊണ്ട് ഒരു സമ്മർദ്ദ ആഴത്തിലുള്ള അറയുണ്ട്;

എസ് 2, വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗത്ത് ഒരു പിന്തുണാ ഷീറ്റ് ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു;

എസ് 3, മാതൃകാപരമായ മാനുഫാക്ചർ മാനുഫാക്ചർ വേഫറിന്റെ മുൻവശത്ത്, മെറ്റൽ വയറുകൾ, പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകൾ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു;

എസ് 4, വേഫറിന്റെ മുൻഭാഗത്ത് ഒരു നിഷ്ക്രിയ പാളി നിക്ഷേപിക്കുക, നിഷ്ക്രിയ പാളി തുറക്കുക, ഒരു മെറ്റൽ പാഡ് ഏരിയ രൂപീകരിക്കുന്നതിന്. 2. ക്ലെയിം 1 അനുസരിച്ച് പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ നിർമ്മാണ രീതി, അതിൽ എസ് 1 ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു: എസ് 1: എസ് 1 എസ് 12: അസോഫറിന്റെ മുൻഭാഗത്ത് അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകൾ ഉയർന്ന താപനില വ്യാപന പ്രക്രിയയാണ് നിർമ്മിക്കുന്നത്, കോൺടാക്റ്റ് പ്രദേശങ്ങൾ വളരെയധികം ചൂടാണ്; S13: വേഫറിന്റെ മുൻഭാഗത്ത് ഒരു സംരക്ഷണ പാളി നിക്ഷേപിക്കുകയും രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുക; S14: സമ്മർദ്ദ സെൻസിറ്റീവ് ഫിലിം രൂപീകരിക്കുന്നതിന് വേഫറിന്റെ പിൻഭാഗത്ത് ഒരു സമ്മർദ്ദ ആഴത്തിലുള്ള അറയെ നശിപ്പിക്കുകയും രൂപീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. 3. ക്ലെയിം 1 അനുസരിച്ച് പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ നിർമ്മാണ രീതി, അതിൽ വേഫർ സോ

1962 ൽ ടഫ്റ്റ് മറ്റുള്ളവരും. വൈകിയ ഒരു സിലിക്കൺ പ്യൂസൈസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകളുമായും സിലിക്കൺ ഫിലിം ഘടനയും ആദ്യമായി ഒരു പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് റിപ്പീഷൻ സെൻസർ നിർമ്മിക്കുക, പ്യൂസോറെസിസ്റ്റീവ് റിസർഫ് സെൻസറിൽ ഗവേഷണം ആരംഭിച്ചു. 1960 കളുടെ അവസാനത്തിലും 1970 കളുടെ തുടക്കത്തിലും, മൂന്ന് സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ രൂപം, അതായത്, സിലിക്കൺ അനിസോട്രോപിക് എച്ചിംഗ് ടെക്നോളജി, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ ടെക്നോളജി, അനോഡിക് ബോണ്ടിംഗ് ടെക്നോളജി, പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിച്ച പ്രഷർ സെൻസറിൽ വലിയ മാറ്റങ്ങൾ വരുത്തി. 1980 മുതൽ, അനിസോട്രോപിക് തിരഞ്ഞെടുത്ത സാങ്കേതികവിദ്യ, അനിസോട്രോപിക് തിരഞ്ഞെടുത്ത സാങ്കേതികവിദ്യ, അനിസോട്രോപിക് തിരഞ്ഞെടുത്ത സാങ്കേതികവിദ്യ, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ, കോട്ടിംഗ് എന്നിവ തുടർച്ചയായി കുറഞ്ഞു, പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ വലുപ്പം കുറഞ്ഞു, അത്പുട്ട് മെച്ചപ്പെടുത്തി, പ്രകടനം മികച്ചതാണ്. അതേസമയം, പുതിയ മൈക്രോമാചിനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനവും പ്രയോഗവും പ്രഷർ സെൻസറിന്റെ ചലച്ചിത്ര കനം കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നു.