കാർട്ടർ എക്‌സ്‌കവേറ്ററിനായുള്ള എഞ്ചിൻ പ്രഷർ സെൻസർ 2CP3-68 1946725

ഒരു പ്രഷർ സെൻസർ തയ്യാറാക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു രീതി, ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു:

S1, ഒരു പിൻ ഉപരിതലവും ഒരു മുൻ ഉപരിതലവും ഉള്ള ഒരു വേഫർ നൽകുന്നു; വേഫറിൻ്റെ മുൻ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പും അമിതമായി ഡോപ്പ് ചെയ്ത കോൺടാക്റ്റ് ഏരിയയും ഉണ്ടാക്കുന്നു; വേഫറിൻ്റെ പിൻഭാഗം കൊത്തിവെച്ച് മർദ്ദം ആഴത്തിലുള്ള അറ ഉണ്ടാക്കുന്നു;

S2, വേഫറിൻ്റെ പിൻഭാഗത്ത് ഒരു സപ്പോർട്ട് ഷീറ്റ് ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു;

എസ് 3, വേഫറിൻ്റെ മുൻവശത്ത് ലെഡ് ഹോളുകളും മെറ്റൽ വയറുകളും നിർമ്മിക്കുന്നു, കൂടാതെ വീറ്റ്‌സ്റ്റോൺ ബ്രിഡ്ജ് രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് പീസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകൾ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു;

എസ് 4, വേഫറിൻ്റെ മുൻ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു പാസിവേഷൻ പാളി നിക്ഷേപിക്കുകയും രൂപപ്പെടുത്തുകയും ഒരു മെറ്റൽ പാഡ് ഏരിയ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് പാസിവേഷൻ ലെയറിൻ്റെ ഒരു ഭാഗം തുറക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. 2. ക്ലെയിം 1 അനുസരിച്ച് പ്രഷർ സെൻസറിൻ്റെ നിർമ്മാണ രീതി, അതിൽ S1 പ്രത്യേകമായി ഇനിപ്പറയുന്ന ഘട്ടങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു: S11: ഒരു പിൻ ഉപരിതലവും മുൻ ഉപരിതലവും ഉള്ള ഒരു വേഫർ നൽകുന്നു, കൂടാതെ വേഫറിൽ ഒരു പ്രഷർ സെൻസിറ്റീവ് ഫിലിമിൻ്റെ കനം നിർവചിക്കുന്നു; എസ് 12: വേഫറിൻ്റെ മുൻ ഉപരിതലത്തിൽ അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, പൈസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകൾ ഉയർന്ന-താപനില വ്യാപന പ്രക്രിയയിലൂടെ നിർമ്മിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ കോൺടാക്റ്റ് മേഖലകൾ വൻതോതിൽ ഡോപ്പ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു; എസ് 13: വേഫറിൻ്റെ മുൻ ഉപരിതലത്തിൽ ഒരു സംരക്ഷിത പാളി നിക്ഷേപിക്കുകയും രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു; S14: ഒരു പ്രഷർ സെൻസിറ്റീവ് ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് വേഫറിൻ്റെ പിൻഭാഗത്ത് ഒരു മർദ്ദം ആഴത്തിലുള്ള അറ ഉണ്ടാക്കുന്നു. 3. ക്ലെയിം 1 അനുസരിച്ച് പ്രഷർ സെൻസറിൻ്റെ നിർമ്മാണ രീതി, അതിൽ വേഫർ SOI ആണ്.

1962-ൽ, Tufte et al. ഡിഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്കൺ പീസോറെസിസ്റ്റീവ് സ്ട്രിപ്പുകളും സിലിക്കൺ ഫിലിം ഘടനയും ഉള്ള ഒരു പീസോറെസിസ്റ്റീവ് പ്രഷർ സെൻസർ ആദ്യമായി നിർമ്മിക്കുകയും പീസോറെസിസ്റ്റീവ് പ്രഷർ സെൻസറിനെക്കുറിച്ചുള്ള ഗവേഷണം ആരംഭിക്കുകയും ചെയ്തു. 1960 കളുടെ അവസാനത്തിലും 1970 കളുടെ തുടക്കത്തിലും, സിലിക്കൺ അനിസോട്രോപിക് എച്ചിംഗ് ടെക്നോളജി, അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ ടെക്നോളജി, അനോഡിക് ബോണ്ടിംഗ് ടെക്നോളജി എന്നിങ്ങനെ മൂന്ന് സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ രൂപം പ്രഷർ സെൻസറിൻ്റെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിൽ പ്രധാന പങ്ക് വഹിച്ച പ്രഷർ സെൻസറിൽ വലിയ മാറ്റങ്ങൾ കൊണ്ടുവന്നു. . 1980-കൾ മുതൽ, അനിസോട്രോപിക് എച്ചിംഗ്, ലിത്തോഗ്രാഫി, ഡിഫ്യൂഷൻ ഡോപ്പിംഗ്, അയോൺ ഇംപ്ലാൻ്റേഷൻ, ബോണ്ടിംഗ്, കോട്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ മൈക്രോമാച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ കൂടുതൽ വികാസത്തോടെ, പ്രഷർ സെൻസറിൻ്റെ വലുപ്പം തുടർച്ചയായി കുറയുന്നു, സംവേദനക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തി, കൂടാതെ ഔട്ട്പുട്ട് ഉയർന്നതാണ്. പ്രകടനം മികച്ചതാണ്. അതേ സമയം, പുതിയ മൈക്രോമച്ചിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനവും പ്രയോഗവും പ്രഷർ സെൻസറിൻ്റെ ഫിലിം കനം കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നു.